АЛЕКСЕЕВ СЕРГЕЙ АНДРЕЕВИЧ

  ЭЛЛИПСОМЕТР, содержащий излучатель, поляризатор, анализатор, механизм синхронного разворота плеч поляризатора и анализатора и установленные в плечах поляризатора и анлизатора оптическую систему установки угла падения излучения, включающую отражатели, соединенные с приводом, и.фотоприемник, соединенный с блоком регистрации, о ичающийся тем, что, с целью повышения точйости измерени...

  Изобретение относится к полупроводниковой технике. Целью изобретения является расширение класса контролируемых объектов за счет обеспечения возможности контроля кристаллов, не обладающих естественным двулучепреломлением, в том числе кристаллов кубической симметрии. К исследуемому образцу прикладывают стационарное механическое усилие, образец зондируют поляризованным оптическим изл...

  Изобретение относится к технике оптико-физических измерений, а именно к эллипсометрии, и может быть использовано при контроле оптических параметров поверхности материалов и изделий. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства и повышение точности измерения оптических характеристик. Устройство содержит излучатель 1, имеющий круговую поляризацию излучения (лазер ЛГН-208), пл...