Сельков Евгений Степанович

 Использование: в интегральной микроэлектронике, при разработке и производстве одноканальных и взаимодополняющих МДП ИС цифрового, линейного и аналогового применения. Сущность изобретения: способ изготовления ДМП ИС основан на последовательном формировании в слоях нитрида кремния и поликристаллического кремния затворов и разделительных областей между стоками и охранными зонами, легировании...

 Использование: изобретение относится к интегральной микроэлектронике и может быть использовано при разработке и производстве одноканальных и взаимодополняющих МДП ИС цифрового, линейного и аналогового применения. Сущность изобретения: способ изготовления МДП ИС основан на последовательном формировании контактных окон к полупроводниковой пластине в слоях поликристаллического кремния и подз...