Качанов Ю.А.

 (19)RU(11)1144548(13)C(51)  МПК 6    H01J27/04Статус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: учтена за 1 год с 29.06.1993 по 28.06.1994(54) ИСТОЧНИК ИОНОВ Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков и может быть использовано для получения тонких пленок различных материалов, для ионного и ионно-химического травления и очистки...

  Изобретение относится к обработке поверхностей изделий и может быть использовано в микроэлектронике. Целью изобретения является повышение качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности. Сущность предлагаемого способа обработки диэлектрических мишеней состоит в том, что поверхности мишеней бомбардируют пучком положительных ионов, на эмиттирующу...