ЮНУСОВ А.И.

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ сОциАлистических Я 1 1 ДР бдО А ) РЕСПУБЛИК г (g()g С 23 С 14/00 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К A ВТОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3629490/21 (22) 22.07.83 (46) 30,10 92. Бюл. Г 40 (71) Институт электроники им. У.А.Арифова (72) l1.Х.Эстерлис, Д.Д.Груич,В.С.Пич-ко, А.И.Юнусов и В.Н.Арустамов (53) 621 ° 793.14 (088...

  Изобретение может быть использовано для получения тонких пленок на длинномерных изделиях. Цель изобретения - повышение качества и производительности устройства. Между катодом 1 и анодом (А) 7 зажигается устойчивый дуговой разряд при давлении в камере ниже 5-10 мм рт.ст. Переключателем токоподводов потенциал с секцией А 7 переключается на короткое время к дополнительному А 8, расп...