ЛОНСКИЙ ЭДУАРД СТАНИСЛАВОВИЧ

  СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНОГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА МИКРОСХЕМ, заключающийся в том,что на однородной подложке формируют тестовзпо ячейку,освещают ее параллельным пучком монохроматического света под углом к плоскости подложки, регистрируют параметры отраженных пучков света и определяют контролируемый параметр, отличающийс я тем, что, с целью повьппения точности из...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерению толщины пленок на подложках. Цель изобретения - измерение толщины пленок из непрозрачного материала путем использования зллипсометрического метода контроля. Сформированную из структуры пленка - подложка тестовую ячейку в виде трех участков, последовательно расположенных на поверхности подложки, один из которы...