САВЧУК АЛЕКСАНДР ПРОКОФЬЕВИЧ

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК в процессе их нанесения , содержащее источник излучения, модулятор, систему зеркал, одно из которых имеет полупрозрачное покрмтие , и карусель с подложкодержателями , отличаю ще еся тем, что, с целью повышения точности контроля , ойо снабжено обтюратором с зеркальньм покрытием, размещенным ьбжду каруселью и зеркалом с полупрозрачным покрытие...