ЧЕРНЕНКО ВАЛЕНТИНА НИКОЛАЕВНА

  СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЦИНЫ ПОКРЫТИЙ, заключающийся в том, что облучают объект пучком ионов, регистрируют ионный ток и определяют толщину покрытий, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля в процессе нанесения монослойных покрытий, облучают объект моноэнергетическими отрицательными ионами, регистрируют ионный ток вторичных и рассеянных отрицательных ионов, определяю...