БАРАНОВ И.Ю.

  1. Способ откачки газов, включающий предварительную откачку в диапазоне давлений 10 - 7,65 Па и откачку злектродуговым испарительным насосом, содержащим катод и анод, отличающийся тем, что, с целью увеличения эффективности откачки, анод электродугового насоса вьтолняют целиком или частично из геттерного материала , а откачку этим насосом осуществляют начиная с давления 10 13 ,3 П...