Стесин Л.Е.

 Способ контроля качества металлизации, основанный на создании на полупроводниковой пластине тестовой структуры, выполненной в виде дорожки металлизации с контактными площадками, и пропускании через тестовую структуру тока с помощью зондов, прижимаемых к контактным площадкам, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля и процента выхода годных изделий, через тестов...