КИРИЗИЙ ТАТЬЯНА ЯКОВЛЕВНА

  СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ 1ЮЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий золь двуокиси кремния, о т л ич ающийс .я тем, что., с целью улучшения качества полированной поверхности арсенида галлия, фосфида галлия, германия и повышения проиэводи«гельност процесса полирования, он дополнительно содержит соль аммония , выбранную из группы; карбанат аммония, фторид аммония, хлорид аммония, окисли...