ЛАНСКАЯ Т.Г.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР путем нанесения на подложку слоя оксидов переходных металлов и дополнительного слоя, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона используемых оксидов переходных металлов, дополнительный слой наносят в виде аморфного слоя трибксида вольфрама при температуре подложки со слоем оксида переходного металла равной 50-90°С и скорости...