Колесов Е.И.

 (19)RU(11)1163656(13)C(51)  МПК 5    C23C14/32Статус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: учтена за 3 год с 01.05.1995 по 30.04.1996(54) СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО РЕАКТИВНОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам получения тонких пленок плазменным реактивным нанесением в вакууме. Известен спос...

 Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения защитных покрытий и пленочных элементов интегральных микросхем. Цель изобретения - повышение воспроизводимости свойств пленок. Для осаждения пленок нитрида кремния распыляли мишень из монокристаллического кремния. Магнетронным источником устанавливали ток разряда 1,5 А. В процессе очистки в среде а...