PatentDB.ru — поиск по патентным документам

БИЛОГОЛОВКА ВАСИЛИЙ ТАРАСОВИЧ

Изобретатель БИЛОГОЛОВКА ВАСИЛИЙ ТАРАСОВИЧ является автором следующих патентов:

Кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек

Кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек

  КАССЕТА ДЛЯ ЖЦЦКОФАЗНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, содержащая корпус с осевым отйерстием, основание с пазами для размещения подложек и фиксатор для их крепления , отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и защиты поверхности подложек от загрязнений в межоперационный период, основание кассеты выполнено в виде параллельно расположенных распределяющих тр...

1168635