ПЕШЕХОНОВА ЛЮДМИЛА ВАСИЛЬЕВНА

  КАССЕТА ДЛЯ ЖЦЦКОФАЗНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, содержащая корпус с осевым отйерстием, основание с пазами для размещения подложек и фиксатор для их крепления , отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и защиты поверхности подложек от загрязнений в межоперационный период, основание кассеты выполнено в виде параллельно расположенных распределяющих тр...