БУБНОВ ЮРИЙ ЗАХАРОВИЧ

  1. Способ контроля фотошаблона включающий облучение контролируемого и эталонного фотошаблонов потоками электромагнитного излучения по нормали к их поверхностям с непрозрачным материалом, регистрацию излучения, прошедшего через фотошаблоны , определение отклонений топологии поверхности непрозрачного материала контролируемого фотошаблона по сравнению с топологией эталонного фотошаб...

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет устранения углового рассовмещения между эталонной и контролируемой пленарными.структурами. Устройство дефектоскопического контроля планарных структур содержит ко СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я) 4 Гт 01 В 21/00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А BTOPCHOMV СВИ...

  Устройство к технологии радиоаппаратостроения, а именно к устройствам для обнаружения дефектов поверхностей ,в частности, к аппаратуре неразрушающего контроля качества планарных структур, к которым относятся незагерметизированные дискретные и интегральные полупроводниковые структуры, фотошаблоны. Позволяет выявлять аномалии и дефекты топологии и может быть использовано при межопер...