ЧОЙ Чанг-сик (KR)

 Использование: в технологии изготовления полупроводниковых запоминающих устройств. Сущность изобретения: предложен способ изготовления полупроводникового запоминающего устройства, в котором разрядная шина и электрод хранения конденсатора соединяются с активной зоной полупроводниковой подложки соответственно через контактную площадку, образованную самовыравнивающим образом. Способ включает...