ВАЛЬКОВ Н.М.

  1.ВАКУУМНЫЙ ТРАНСПОРТНЫЙ KA ,НАЛ, преимущественно в установках для изготовления тонкопленочных многослойных структур, содержащий установленные на основании герметично соединенные между собой секции и размещенные внутри них на опорах направляющих для каретки, отличающийся тем. что. с целью повышения надежности в работе, каждая секция транспортного канала снабжена цилиндрическими п...