ЛЯПИН В.М.

  1.ВАКУУМНЫЙ ТРАНСПОРТНЫЙ KA ,НАЛ, преимущественно в установках для изготовления тонкопленочных многослойных структур, содержащий установленные на основании герметично соединенные между собой секции и размещенные внутри них на опорах направляющих для каретки, отличающийся тем. что. с целью повышения надежности в работе, каждая секция транспортного канала снабжена цилиндрическими п...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ()ю С 30 В 23/08 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3759328/26 (22) 28.06.84 (46) 15,11.91. Бюл. М 42 (72) А.Г,Денисов, Н.А.Кузнецов, В.М.Ляпин и В.И.Никандров (53) 621.315.692 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР N. 823117, кл. В 25 J 11/00,...

  Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для автоматизации операций загрузки, транспортирования и передачи изделий в вакуумном оборудовании. Цель изобретения - повышение точности позиционирования платформы робота, его надежности и снижение материалоемкости. При транспортировке и передаче изделия движение от привода 18 через фрикционную муфту 58 передается на вакуу...