ПЕТРОВИЧ ИГОРЬ ВЛАДИМИРОВИЧ

  СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК, НАПЫЛЯЕМЫХ В ВАКУУМЕ, заключающийся в том, что одновременно производят напыление пленки на рабочую подложку и свидетель, пропускают через свидетель излучение, регистрируют поток излучения, прошедшего свидетель, и определяют толщину пленки на рабочей подложке, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин в процессе напьше...