Емельянников А.А.
Изобретатель Емельянников А.А. является автором следующих патентов:
Способ создания многослойных контактных систем
(19)SU(11)1195849(13)A1(51) МПК 5 H01L21/28(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ СОЗДАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ КОНТАКТНЫХ СИСТЕМ Изобретение относится к полупроводниковой технике/ в частности к способам создания многослойных контактных систем. Цель изобретения - повышение точнос...
1195849