РОГАЧЕВ Б.В.

  УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ПЛАЗМОХЙМИЧЕСКОЙ ОВРАВОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержа:щёе первый фотоэлектрический преобгрАзователь и компаратор, о т Л и , . 14 а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности фиксаций момента .окончания плазмохимической обработ-: ;ки, в .него дополнительно введены вто -рой фотоэлектрический преобразователь , интегратор, генератор, исто...