Черняев П.А.

 (19)SU(11)1200762(13)A1(51)  МПК 5    H01J45/00, H01J9/14(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ Изобретение относится к измерительной технике, а именно к технике получения элементов пленочных микросхем преимущественн...