Ярмолюк Л.С.

 (19)SU(11)1210607(13)A1(51)  МПК 6    H01J37/08, H01J27/04(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ Изобретение относится к устройствам для получения ионных пучков с большим поперечным сечением и может быть использовано для различных технологическ...