Ахманаев В.В.

 (19)SU(11)1212156(13)A1(51)  МПК 5    G01N22/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) ДАТЧИК ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ Изобретение относится к технике измерений на СВЧ и может использоваться для исследования электрофизических параметров полупроводнико...