ТОЛСТОГУЗОВ АЛЕКСАНДР БОРИСОВИЧ

  Изобретение позволяет проводить элементный анализ поверхности и может быть использовано, например , в электронной технике. Цель изобретения - повышение энергетического разрешения спектрометра обратно рассеянных ионов. Первичный ионный пучок -ионной пушки 8 фокусируется диафрагмой 6 и линзой на поверхность исследуемого образца 2. Отклоняющая система 10 направляет пучок обратно рас...

  Изобретение относится ко вторичной ионной масс-спектрометрии и может быть использовано при регистрации положительных и отрицательных ионов. Целью изобретения является повышение чувствительности и снижение габаритов. Пучок разнополярных ионов из источника 1, отсепарированный по массе квадрупольным анализатором 2, попадает через его выходную диафрагму 3 на входную диафрагму 4 и вход...

  Использование: относится к аналитическому приборостроению и может быть применено при анализе твердых тел с высокой чувствительностью и разрешающей способностью методом вторично-ионной массспектрометрии. Сущность изобретения1 спектрометр содержит ионную пушку 1, квадрупольный энергетический фильтр 2 вторичных ионов, образец 3, входные линзы 4, диафрагмы 5, квадрупольные фильтры 6...