ВЕСЕЛОВ А.Г.

  (IglSU(lll (51)5 Н 03 Н 9 30 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦП1Й Ъ ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Ц CBTOPCHOMV CIIIICETE(IBCTBI imam ah= (46) 15.01.93. Бюл Р 2 (21) 3645427/23 (22) 23,09 ° 83 (72) IO.В. Гуляев, A.Ã. Веселов, В.И, Елмапов, С.II. Иванов, If,ff. Котелянский, A,Â, Владимиров и В.Я. Курилов (56) Ультразвук.-Маленькая энциклопедия./Под ред. И,И. Г...

  Изобретение может быть использовано для изготовления преобразователей сдвиговых объемных акустических волн. Цель изобретения - повышение качества пленок за счет получения наклонной ориентации оси их текстуры в диапазоне 40±10° и увеличения однородности этой текстуры по поверхности подложки. Для получения пленки окиси цинка в магнетронном разряде распыляют цинковую дискову...