Егорушкин В.Е.

 (19)SU(11)1218855(13)A1(51)  МПК 5    H01L21/265(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) СПОСОБ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ Изобретение относится к разделу технической физики и может быть использовано при имплантации ионов в различные материалы в технологии изготов...