Уваев А.Г.

 Изобретение относится к приборам для электронно-лучевой обработки объектов и может использоваться для обработки изделий электронным лучом как при вертикальном, так и при горизонтальном положении рабочей камеры и лучевого тракта, в том числе в условиях низкого вакуума в рабочей камере. Техническим результатом является стабилизация положения и размеров пучка в переходных режимах. В установк...