ЕМЕЛЬЯНИНКОВ ДМИТРИЙ ГЕННАДИЕВИЧ

  Изобретение относится к массспектрометрии вторичных ионов и может быть использовано для элементного и фазового послойного анализа твердьк веществ. Цепь изобретения - повышение точности количественного послойного анализа, достигается благодаря тому, что твердое вещество бомбардируют и распыляют двумя пучками первичных ионов. При этом коэффициент распьшения одного пучка меньше един...