КАРАБАНОВ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение может быть использовано для измерения электрофизических свойств полупроводниковых материалов . Цель изобретения - повышение точности измерения. Зонды расположены в V-образных пазах кремниевой пластины с изоляцией. Пружины, изолированные прокладками, прижимают зонды к стенкам пазов. Токосъемные втулки зондов прижаты к электрической прокладке . Выполнение V-образных паз...