МИХАЛЫЧЕВА ИРИНА АЛЕКСАНДРОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерению толщины пленок на подложках. Цель изобретения - измерение толщины пленок из непрозрачного материала путем использования зллипсометрического метода контроля. Сформированную из структуры пленка - подложка тестовую ячейку в виде трех участков, последовательно расположенных на поверхности подложки, один из которы...