МУЗЫЧЕНКО ОЛЕГ МИХАЙЛОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике, может использоваться для определения однородности поверхностного слоя полупроводниковых пластин и позволяет повысить точность контроля поверхности полупроводниковых ппастин за счет возбуждения изгибных колебаний, определения резонансной частоты и радиусов узловых окружностей, по измерению которых судят о величине физикомеханических х...