ЛИТВИНСКИЙ ИГОРЬ ЕВГЕНЬЕВИЧ

  Изобретение относится к области микроэлектроники . Цель изобретения - повышение эффективности контроля качества и надежности микросхем, механизмы отказов которых обусловлены присутствием влаги. Способ основан на измерении информативного электрического параметра (ИП), в качестве которого принимается поверхностная проводимость кристалла, т. е. значение тока утечки по цепи шина пита...