ТИМОФЕЕВ ИГОРЬ ВИКТОРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам измерения толщины полупроводниковых слоев. Цель изобретения - расширение диапазона типов контролируемых полупроводниковых слоев путем исключения влияния толщины слоя и качества р-п-переходов на результаты измерения. Облучают полупроводниковый слой, помещенньй вплотную между металлическим зондом и металлическим...