АНИКИЕВ ЮВИНАЛИЙ ГРИГОРЬЕВИЧ

  Изобретение относится к проекционной литографии и может быть использовано в процессах изготовления интегральных, оптических, оптоэлектронных схем и оригиналов с субмикронными размерами элементов. Целью изобретения является улучшения качества изображения путем повышения разрешающей способности при уменьшении масштаба изображения оригинала , Ультрафиолетовьм поток от источника 1 св...