ЛЕРНЕР МОИСЕЙ ДАВЫДОВИЧ

  Изобретение относится к исследованиям и анализу физических свойств материалов с помощью оптических методов , а именно путем исследования цвета или поглощения световых лучей при помощи электрических средств обнар океиия локальных дефектов, Цель изобретения - новышение достоверности контроля дефектов фотошаблона, которая достигается введением новых блоков и функциональных связей, п...