ПРОХОРОВА ИРИНА АЛЕКСЕЕВНА

  СОЮЗ СОВЕТСНИХ СО)ф АЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК 44 А1 (19) !11) (51) 4 1) 21 С 5/02 ГОСУДАРСТВЕНН6)Й НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНР6)ТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ /Р Пульпа иакудатури (21) 3831633/29 †)2 (22) 28.12.84 (46) 30.05.86. Бюл. Ф 20 (71) Всесоюзный проектно-конструкторский и технологический институт вторичных ресурсов (72) A.È.Ïàøoâêèí, Ф.Ф.Гаев, И.А.Прохорова и...

  Изобретение относится к интегральной оптике, а именно к способам обработки стекла и технологии формирования углублений, и может быть использовано при изготовлении интегральных схем с углублениями различной конфигурации и форм поперечного сечения для укладки оптических волокон. С целью повышения точности и воспроизводимости изготовления углублений способ включает следующие операции...