ШТАБНОВ ВЛАДИМИР ГЕННАДЬЕВИЧ

  Изобретение относится к области газового анализа и может быть использовано в адсорбционных электрических датчиках для измерения влажности различных газов. Датчик содержит эпитаксиальную пленку арсенида галлия 1 на полуизолируннцей подложке 2 и металлически электроды 4 и 5 в виде омических и нулевых контактов. Для повышения чувствительности датчика поверхность эпитаксиальной пленк...

  Изобретение относится к области метрологии и может быть использовано в датчиках влажности. Чувствительный элемент выполнен из арсенида галлия, легированного теллуром. 2 ил. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (si)s G 01 N 27/02 ГОСУДАРСТВЕН-}ОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4901110/25 (22) 09.01,91 (46)...