ШТАБНОВА ВАЛЕНТИНА ЛЕОНИДОВНА

  Изобретение относится к области газового анализа и может быть использовано в адсорбционных электрических датчиках для измерения влажности различных газов. Датчик содержит эпитаксиальную пленку арсенида галлия 1 на полуизолируннцей подложке 2 и металлически электроды 4 и 5 в виде омических и нулевых контактов. Для повышения чувствительности датчика поверхность эпитаксиальной пленк...