Комаров Р.В.

 Изобретение относится к технике ультразвуковой очистки изделий и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов на операциях очистки полупроводниковых пластин с помощью ультразвука, а также мегазвука. Устройство содержит ванну для очистки моющим раствором, ультразвуковой излучатель, установленный на дне ванны, кассету с пластинами и механизм перемещения пластин, выполне...