ГРИГОРЬЕВ ВАДИМ ОЛЕГОВИЧ

  Изобретение относится к измерртельной технике, в частности к устройствам для измерения линейных пере-г мещений. Цель изобрете ния - повышение точности измерения путем компенсации температурных погрешностей. При прохождении светового потока через Sep- кало, устанавливаемое на объекте на решетку-шкалу, скрепляемую со станиной с помощью пружин, и на решеткуиндекс, связанную с объект...

  Изобретение относится к измерительной технике, к способам контроля круговых структур (синтезированных голограмм и др.). Цель изобретения - повышение производительности контроля изготовления круговых структур посредством выполнения нескольких меток кольцевой формы. В процессе изготовления кольцевых структур выполняют непрозрачные метки кольцевой формы в нескольких непрозрачных коль...