Мухортов В.М.

 (19)SU(11)1240076(13)A1(51)  МПК 6    C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, а именно к устройствам для ионно-плазменного распыления диэлектрических матери...

  Изобретение относится к измерению механических колебаний твердого тела, а именно к пленочным преобразователям динамических деформаций, предназначенным для преобразования динамических деформаций измеряемых объектов в электрические сигналы. Целью изобретения является повышение чувствительности при изгибах и после нагревов выше температуры Кюри материала. Активный элемент выполнен в виде по...