Клевцов А.Н.
Изобретатель Клевцов А.Н. является автором следующих патентов:
Устройство для ионно-плазменного распыления материалов в вакууме
(19)SU(11)1240076(13)A1(51) МПК 6 C23C14/36(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме, а именно к устройствам для ионно-плазменного распыления диэлектрических матери...
1240076