Стогний А.И.

 (19)SU(11)1245152(13)A2(51)  МПК 6    H01J27/04(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) ИСТОЧНИК ИОНОВ Изобретение относится к устройствам для получения нейтрализованных пучков ионов различных газов, включая химически активные, и может быть использовано для различных технологических о...

 Изобретение относится к устройствам для получения интенсивных ленточных пучков ионов металлов, включая тугоплавкие, их сплавов, и может быть использовано для технологических целей (ионная имплантация, осаждение пленок заданного материала в вакууме и т.д.) и научных исследований. Целью изобретения является получение ленточных пучков тугоплавких металлов с высоким коэффициентом использовани...

  Изобретение относится к газоразрядным технологическим установкам и может быть использовано для обработки материалов в вакууме. Целью изобретения является упрощение системы электропитания. Источник содержит полый катод 1 с эмиссионным каналом 2. Вспомагательная камера 4 содержит диск 6, образующий с катодом 1 кольцевую щель. Вспомогательный тлеющий разряд зажигают между анодом 8 и камерой...