МИХАЙЛОВ ЮРИЙ ГАВРИЛОВИЧ

  Измеритель перемещений может быть использован для высокоточных измерений линейных перемещений различных объектов. Целью изобретения является повьшение быстродействия измерений за счет определения направления перемещения в каждом цикле модуляции. Оптический блок 1, связанный с объектом 17, формирует интерференционные полосы, сканируемые по фотоприемнику 3 модулятором 2 изображения...