ПОЛИЩУК ТАТЬЯНА АЛЕКСАНДРОВНА

  Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов, в частности адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем . Цель изобретения - повышение производительности контроля, которая достигается тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определяют его адгезию к подложке путем воздействия индентора на покрытие...