ПОЧЕЖЕРЦЕВ АНАТОЛИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  Для определения угла взаимной разориентации кристаллографических направлений решеток гетероэпитаксиальной пленки и подложки с точностью 0,05 на любой глубине от поверхности образца в интервале глубин 10-1 мкм с разрешением по глубине 10 -10 мкм пучок м:оноэнергетичных ускоренных ионов (с энергией 0,5 - 1,0 МэВУнуклон ) направляют на исследуемый образец в каком-либо фиксированном...