ЛЕБЕДЕВ ВАЛЕРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к электронной технике. Может быть использовано для проведения контроля качества и исследования параметров полупроводниковых и МДП- структур в процессе производства интегральных схем на их основе. Целью изобретения является повышение точности измерения. Достигается за счет устранения влияния проводимости подложки на результат компенсации емкости диэлектрика,...