PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ЧИРКОВ ГЕННАДИЙ ГЕОРГИЕВИЧ

Изобретатель ЧИРКОВ ГЕННАДИЙ ГЕОРГИЕВИЧ является автором следующих патентов:

Неразрушающий способ определения толщины покрытия на кристаллической подложке

Неразрушающий способ определения толщины покрытия на кристаллической подложке

  С целью повышения экспрессности и упрощения способа определения толщины покрытия на кристаллической подложке с использованием дифракции рентгеновских лучей предложено осуществить измерение брэгговского угла дифракции любого отражения для исследования образца и эталона, который выполняется из материала подложки. Толщину покрытия определяют по разности измеренных брэгговских углов...

1249414