Бодунова А.С.

 (19)RU(11)1251749(13)C(51)  МПК 5    H01L21/02Статус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: учтена за 3 год с 24.04.1995 по 23.04.1996(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С ОБЪЕМНЫМИ ВЫВОДАМИ Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых устройств, в частности, к способам защиты р-n переходов на планарной поверхн...